半导体探针台工作原理

半导体探针台工作原理

半导体探针台是一种用于表征和测试集成电路 (IC) 和其他半导体器件的设备。它的工作原理如下：

1. 样品安装：

• 半导体样品（例如芯片或晶圆）安装在探针台平台上。

2. 探针对齐：

• 探针台拥有多根探针，连接至仪器，例如示波器或网络分析仪。
• 探针通过计算机控制系统移动，精确定位在样品上的特定测试点。

3. 电气连接：

• 探针接触样品上的测试点，形成电气连接。
• 仪器通过探针向样品施加信号，或从样品接收信号。

4. 测量和表征：

• 仪器测量样品的电气特性，例如电压、电流、阻抗和频率响应。
• 这些测量结果用于评估样品的性能，如功能性、电气参数和故障排除。

5. 移动和自动化：

• 探针可以移动到样品上的不同测试点，实现多点表征。
• 探针台通常配备自动化系统，可以根据预编程的序列移动探针和执行测试。

优点：

• 提供高精度和可靠的电气连接。
• 适用于各种器件尺寸和类型。
• 允许多点表征和自动化测试。
• 用于故障排除、工艺优化和质量控制。

应用：

半导体探针台广泛应用于以下领域：

• IC 测试和表征
• 半导体材料表征
• 光电器件表征
• 故障分析和失效机制调查
• 制造工艺监控和过程控制