电子束蒸发镀膜机的束流不显示了

可能的故障原因和解决方案：

1. 电子枪故障

• 钨丝断裂：检查电子枪钨丝，如果断裂，需要更换钨丝。
• Wehnelt 圆筒错位：确保 Wehnelt 圆筒正确安装，与钨丝保持适当的距离。
• 电子枪漏气：检查电子枪是否有漏气，如果有，需要修复漏气处。

2. 偏转线圈故障

• 偏转线圈损坏：检查偏转线圈是否完好，是否有断裂或短路。如果有损坏，需要更换线圈。
• 偏转线圈连接问题：检查偏转线圈的连接是否牢固，接触是否良好。

3. 加速电源故障

• 加速电源故障：检查加速电源是否正常工作，电压输出是否正确。如果有故障，需要更换加速电源。

4. 其他原因

• 真空度不足：确保真空室的真空度达到要求，否则电子束会散射。
• 束流遮挡：检查电子束路径是否有任何遮挡物，例如脏污或异物。
• 软件故障：关闭并重新启动软件，检查是否恢复束流显示。

故障排除步骤：

1. 检查真空度：使用真空计测量真空室的真空度，确保符合要求。

2. 检查电子枪：打开电子枪外壳，检查钨丝和 Wehnelt 圆筒是否完好无损。

3. 检查偏转线圈：断开线圈连接，使用万用表测量电阻和通断性。

4. 检查加速电源：用万用表测量加速电源的电压输出，并与制造商规格进行比较。

5. 排除其他因素：检查束流路径是否有遮挡物，清洁任何脏污。

6. 重启软件：关闭并重新启动软件，检查是否恢复正常。

如果上述步骤无法解决问题，建议联系设备制造商或专业维修人员。