真空蒸镀机

真空蒸镀机

真空蒸镀机是一种利用真空中金属蒸发的特性，在基底表面形成薄金属膜或合金膜的设备。

原理

真空蒸镀机的工作原理是：

1. 将待蒸发的金属放入蒸发源中。

2. 在真空室内，施加电压或高频电流，加热蒸发源。

3. 金属因受热而蒸发，形成金属蒸汽。

4. 金属蒸汽在真空条件下向基底运动。

5. 金属蒸汽与基底表面碰撞，凝结形成薄膜。

结构

真空蒸镀机的主要部件如下：

• 真空室：一个封闭的腔室，在其中进行蒸镀过程。
• 蒸发源：用于蒸发金属的装置。通常使用以下类型的蒸发源：
• 电阻加热蒸发源
• 电子束蒸发源
• 激光蒸发源
• 基底架：用于放置基底的支架。
• 真空气泵：用于抽空真空室，创造低压环境。
• 膜厚监测仪：用于监测蒸镀膜的厚度。
• 控制系统：用于控制蒸发源温度、基底温度和真空等参数。

应用

真空蒸镀技术广泛应用于各种行业，包括：

• 电子工业：制造集成电路、薄膜电容器和半导体器件。
• 光学工业：制造反射镜、透镜和滤光片。
• 机械工业：在金属表面涂覆耐磨、耐腐蚀或装饰性薄膜。
• 生物医学工业：制造人工关节和植入物。
• 汽车工业：在塑料和玻璃表面涂覆镀层，提高耐用性和美观性。

优点

• 薄膜均匀性：真空蒸镀可以通过控制蒸发源温度和真空条件，获得均匀的薄膜厚度。
• 高附着力：在真空环境中形成的薄膜与基底具有良好的附着力。
• 可控性：蒸镀参数（如蒸发源温度、基底温度和真空）可以精确控制，以获得所需的膜特性。
• 广泛的应用：真空蒸镀技术可以沉积各种类型的金属、合金和化合物薄膜。